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記者從市市場監管局獲悉，工業和信息化部近日下達2023年第一批行業標準制修訂和外文版項目計劃，安徽亞格盛電子新材料有限公司、蕪湖市標準化研究院聯合申報制定的《電子級乙硅烷》行業標準獲批立項。 電子級乙硅烷主要應用于非晶硅生長、外延生長、化學氣相沉積、擴散、離子注入等工藝中,廣泛應用在半導體、集成電路、太陽能電池等領域。該行業標準將填補電子級乙硅烷產品標準空白，明確電子級乙硅烷的技術指標，規范不同研制單位對產品質量的控制要求，有助于國產乙硅烷的推廣和應用，從而支撐國內半導體產業鏈的快速發展。該行業標準是市標準化院服務戰略新興產業高質量發展、推動企業在科技成果轉化為技術標準上的重要突破，也是我市獲批建設安徽省標準化創新中心后的一項重要成果。 蕪湖日報記者 李賈
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